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Volume 31:2, Spring 2006

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Special issue on Canadian MEMS research / Numéro spécial sur la recherche au Canada sur les MEMS

Message from the Editors / Mot des Éditeurs

Canadian MEMS research / La recherche au Canada sur les MEMS

Summary of the globalization panel discussion from the last ECEDHA conference

Hybrid integration of RF MEMS multiport switches
Une intégration hybride des commutateurs multi-port MEMS RF
M. Daneshmand and R.R. Mansour

Performance assessment of a multi-level repulsive-force out-of-plane microelectrostatic actuator
Évaluation de la performance d’un déclencheur micro-électrostatique à force répulsive multi-niveaux hors plan
S. He and R. Ben Mrad

Theoretical and experimental analysis of an off-chip microgripper
Analyse théorique et expérimentale d’une micro pince off chip
Jonathan Fraser, Ted Hubbard, and Marek Kujath

Application of twin-beam structures for estimation of material properties and sensor fabrication
Application des structures à faisceau jumeau pour l’estimation des propriétés des matériaux et la fabrication des capteurs
Behraad Bahreyni and Cyrus Shafai

A high-tuning-range MEMS variable capacitor using carrier beams
Un condensateur variable MEMS de très grande gamme de balayage utilisant des faisceaux porteurs
Maher Bakri-Kassem and Raafat R. Mansour

Out-of-plane electrothermal actuators in silicon-on-insulator technology
Des déclencheurs électrothermiques hors plan avec une technologie silicium-sur-isolateur
See-Ho Tsang, Dan Sameoto, and M. Parameswaran

Suspended on-chip RF MEMS components fabricated using PolyMUMPs technology
La fabrication des composantes MEMS RF suspendues on chip avec la technologie PolyMUMPs
S. Fouladi, M. Bakri-Kassem, and R.R. Mansour