Table of Contents
Volume 27:1, January 2002

Special Issue on Canadian MEMS (Microelectromechanical Systems) Research
Édition spéciale sur l'état de la recherche sur les systèmes microélectroméchaniques (MEMS)

Introduction

The effects of proton irradiation on electrothermal micro-actuators
Effet de l'irradiation des protons sur les microactionneurs électrothermiques
Robert W. Johnstone, Kevin F. Ko, Janey C. Yang, M. Parameswaran, and Lorne S. Erhardt
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Micro-assembly of microelectromechanical components into 3-D MEMS
Assemblage de composantes microélectromécaniques en MEMS 3-D
Nikolai Dechev, William L. Cleghorn, and James K. Mills
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Tunable CMOS MEMS electromechanical bandpass filters
Filtres passe-bande électromécaniques CMOS à base de MEMS
T. Zhou and A.M. Robinson
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Testing for the work envelope of 3-DOF micromanipulators
Estimation de l'enveloppe de travail de micromanipulateurs à trois degrés de liberté voltage
Yongjun Lai, Dan Sameoto, Ted Hubbard, and Marek Kujath
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Gas mixture analysis and vacuum measurement using a CMOS micromachined optical Pirani gauge
Analyse de mélanges de gaz et mesures du niveau de vide par une jauge optique Pirani CMOS micro-usinée
Keith B. Brown, Yuan Ma, Ron P.W. Lawson, Walter Allegretto, Fred E. Vermeulen,
and Alexander M. Robinson
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A comparison between RF MEMS switches and semiconductor switches
Une comparaison entre des interrupteurs RF MEMS et des interrupteurs à semiconducteurs
P.D. Grant, R.R. Mansour, and M.W. Denhoff
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Micromachining and operation of a bistable electrothermal actuator
Micro-usinage et fonctionnement d'un actuateur électrothermique bistable
I.C. Ressejac, L.M. Landsberger, J.F. Currie, and L. Isnard
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